Епітаксії Рідкофазний

Епітаксії Рідкофазний
Термін епітаксії Рідкофазний Термін англійською liquid-phase epitaxy Синоніми Абревіатури LPE Пов'язані терміни гетероепітаксіі, гомоепітаксія, нановіскер, епітаксії молекулярно-променева, метод Визначення різновид епітаксії як одного з технологічних методів, пр міняних для отримання багатошарових напівпровідникових гетероструктур типу AlGaAs / GaAs.
Термін
епітаксії Рідкофазний
Термін англійською
liquid-phase epitaxy
Синоніми
Абревіатури
LPE
Пов'язані терміни
гетероепітаксіі, гомоепітаксія, нановіскер, епітаксії молекулярно-променева, метод
Визначення

різновид епітаксії як одного з технологічних методів, пр міняних для отримання багатошарових напівпровідникових гетероструктур типу AlGaAs / GaAs.

Опис

На першому етапі рідиннофазної епітаксії готується суміш (шихта) з речовини наращиваемого шару, легуючої домішки, яка може бути донорной або акцепторной, і металу-розчинника, що має низьку температуру плавлення і добре розчиняє матеріал підкладки (Ga, Sn, Pb). Процес проводять в атмосфері азоту і водню (для відновлення оксидних плівок на поверхні підкладок і розплаву) або в вакуумі після попереднього відновлення поверхневої оксидної плівки. Розплав наноситься на поверхню підкладки (наприклад, GaAs (100)), частково розчиняючи її і видаляючи забруднення і дефекти. Після витримки при максимальній температурі близько 1200 K система повільно охолоджується, розплав з насиченого стану переходить в пересичених, і надлишок напівпровідника осідає на підкладку, що грає роль затравки.

Основні фактори, що впливають на якість і властивості епітаксійних шарів, - це початкова рівноважна температура розплаву і швидкість його охолодження, співвідношення обсягу розплаву і площі контакту поверхні підкладки з розплавом, природа розчинника та розчинної речовини, стан поверхні підкладки.Епітаксиальні зростання напівпровідникових гетероструктур з рідкої фази дає деякі переваги в порівнянні з газофазной епітаксії при отриманні сильнолегованих шарів і p-n переходів.

Автори
  • Гусєв Олександр Іванович, д. Ф. -м. н.
Посилання
  1. Гусєв А. І. Наноматеріали, наноструктури, нанотехнології. Вид. 2-е, виправлене і до-конання. - Москва: Наука-Фізматліт, 2007 - 416 с.
Ілюстрації

Зовнішній вигляд установки жікофазной епітаксії фірми "Cyberstar" для вирощування плівок напівпровідникових твердих розчинів

Теги
Розділи
Епітаксиальні шари

Технологія

(Джерело: "Словник основних нанотехнологічних термінів РОСНАНО ")

Енциклопедичний словник нанотехнологій. - Роснано. 2010.