Фотолітографія

Фотолітографія
В планарной технології, спосіб утворення на поверхні полупроводн. кристала (підкладки) маски з "вікнами" потужність. форм і розмірів для подальшого формування елементів інтегральних схем та ін. електронних приладів. Здійснюється фотокопіюванням зображення маски на шар фоторезиста (покриває кристал), к-рий після соотв.

в планарной технології, спосіб утворення на поверхні полупроводн. кристала (підкладки) маски з "вікнами" потужність. форм і розмірів для подальшого формування елементів інтегральних схем та ін. електронних приладів. Здійснюється фотокопіюванням зображення маски на шар фоторезиста (покриває кристал), к-рий після соотв. хім. обробки (розтину "вікон") стає такою маскою.

Природознавство. Енциклопедичний словник.